特許

J-GLOBAL ID：200903055758647069

外観検査装置

発明者： 柿木 義一 ,  肥塚 哲男 ,  安藤 護俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064141
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264240
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 プリント配線パターンの欠陥検出性能を向上させると共に、検出する欠陥の種類を正しく判断することができる外観検査装置を提案する。【構成】 試料100上に形成されたパターンを撮像する撮像手段1と、撮像された画像を二値化する画像二値化手段2と、二値化画像上の任意の中心画素から複数方向に延在する各画素列内におけるパターン部分のパターン部長さを測定するラジアル測長手段3と、複数方向の測長値からパターンの略中心を検出する中心検出手段4と、複数方向の各測長値をラジアルコードに変換するコード化手段5と、各種ラジアルコードに対応したパターン形状の種類を示すカテゴリコードを予め格納し、コード化手段5で変換されたラジアルコードに基づいて格納されたカテゴリを選択してカテゴリコードに変換するカテゴリ変換手段6とを備え、カテゴリコードに基づいてパターンの欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

試料(100)上に形成されたパターンを撮像する撮像手段(1)と、撮像された画像を二値化する画像二値化手段(2)と、当該二値化画像上の任意の中心画素から複数方向に延在する各画素列内におけるパターン部分のパターン部長さを測定するラジアル測長手段(3)と、当該複数方向の測長値から前記パターンの略中心を検出する中心検出手段(4)と、前記複数方向の各測長値をラジアルコードに変換するコード化手段(5)と、各種ラジアルコードに対応したパターン形状の種類を示すカテゴリコードを予め格納し、前記コード化手段(5)で変換されたラジアルコードに基づいて格納されたカテゴリを選択してカテゴリコードに変換するカテゴリ変換手段(6)とを備え、前記カテゴリコードに基づいてパターンの欠陥を検出する外観検出装置において、前記格納されたパターン形状の種類を示すカテゴリコードのうち予め定義された欠陥候補を格納し、前記カテゴリ変換手段(6)から出力されるカテゴリコードを欠陥候補のカテゴリコードと比較して欠陥候補カテゴリを検出する欠陥候補検出手段(7)と、前記欠陥候補カテゴリと対象となるカテゴリとの関係を分類し、当該分類に対応したパターン形状の種類を示す各種上位カテゴリコードを格納し、前記検出された欠陥候補カテゴリと当該欠陥候補カテゴリを中心とする所定領域内におけるカテゴリ分布中の対象となる特定のカテゴリとの関係に基づいて、当該関係に対応する上位カテゴリコードを選択して出力する上位カテゴリ変換手段(8)とを備え、前記上位カテゴリコードに基づいてパターン欠陥の検出を行なうことを特徴とする外観検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/18 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 460 ,  H05K 3/00