特許
J-GLOBAL ID：200903055758750536
測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-029560
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239228
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 測定子先端の球部半径と合成変位とが不一致でも、測定位置の座標値を精度良く、高能率に測定できる測定方法と装置の提供にある。【構成】 測定ヘッド10の球部半径Rを有した測定子14を被測定物Wpに押圧して合成変位Eを発生したとき、接触点の座標P(U,V,W)を所定の演算式に従って演算し、その演算結果から、形状測定や寸法測定を適正に判別して実行できる構成とした。
請求項（抜粋）：
立体形状を有する被測定物と測定ヘッドとの間でX,Y,Z軸方向の相対移動を行い、前記被測定物に前記測定ヘッドの測定子を接触させてその接触点の座標値を測定する測定方法において、前記測定ヘッドとして、先端に球部を有し前記被測定物の表面に接触するとその表面に対して略法線方向に変位するよう支持された測定子を備え、該測定子のX,Y,Z軸方向の各変位を検出可能な変位検出形測定ヘッドを用い、前記変位検出形測定ヘッドのX,Y,Z軸方向の各位置データを読み取り、前記被測定物の表面に前記変位検出形測定ヘッドの測定子を接触させたときの該接触点の座標値(U,V,W)は、 U=X-(R-E)・I/E ・・・・・・・・・(1) V=Y-(R-E)・J/E ・・・・・・・・・(2) W=Z-(R-E)・K/E ・・・・・・・・・(3)この場合に、Rは測定子の先端球部半径で既知の値、I,J,Kは変位検出形測定ヘッドで検出したX,Y,Z軸方向の各変位、Eは、測定子の合成変位量でE=√(I2 +J2 +K2 )、つまり、Eの値は(I2 +J2 +K2 )の平方根に等しい、X,Y,Zは、接触して変位を検出したときの変位検出形測定ヘッドの各位置データ、で表される(1)〜(3)式に従って求めるようにしたことを特徴とする測定方法。
IPC (4件)：
G01B 21/00
, B23Q 17/20
, G01B 21/20
, G05B 19/408
