特許
J-GLOBAL ID：200903055758922736

欠陥検出装置及びその欠陥検出方法並びにその制御プログラムを記録した記録媒体

発明者：
岩下 正雄

岩下 正雄 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： ▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161772
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348177
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 高精度の実画像を得られ、欠陥検出感度を高くすることが可能な欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 検査前に、画像入力手段1から予め寸法の定まったパターンが描かれたレチクルを一定ピッチでずらしながら入力し、補正テーブル作成手段2によってピッチ補正テーブルを作成する。検査の時には補正テーブル作成手段2で作成されたピッチ補正テーブルを用い、ピッチ補正手段3で入力画像にピッチ補正をかけてピッチ歪みを補正し、疑似欠陥を減らし、検査感度の向上を図る。
請求項（抜粋）：
2次元にスキャンして画像を入力する画像入力手段と、前記画像入力手段から入力された画像を予め作成されたピッチ補正テーブルに基づいて線形補間によって位置歪みを補正して出力するピッチ補正手段と、前記ピッチ補正手段で補正された実画像と予め設計データから作成された参照画像との比較を行ってそれらの誤差を検出する誤差検出手段と、前記誤差検出手段で検出された誤差が予め定められた一定値より大きければ欠陥が有ると判断する欠陥判別手段とを有することを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08
FI (4件)：
G06F 15/62 405 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J ,  G03F 1/08 S
Fターム (59件)：
2F065AA17 ,  2F065AA49 ,  2F065CC18 ,  2F065DD00 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL57 ,  2F065LL61 ,  2F065LL65 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR05 ,  2F065RR09 ,  2F065UU06 ,  2G051AA56 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED07 ,  2G051ED13 ,  2G051ED23 ,  2G051GD02 ,  2G051GD06 ,  2H095BD04 ,  2H095BD28 ,  5B057AA03 ,  5B057BA11 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD06 ,  5B057CH07 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC06 ,  5B057DC32
引用特許：
審査官引用 (25件)
  • パターン位置測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-140501   出願人：株式会社ニコン
  • 画像計測装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-254095   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平4-172211
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