特許
J-GLOBAL ID：200903055763413610
単結晶材料切断時の結晶方位合わせ方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308920
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】安価な装置価格で、且つ、単結晶材料の結晶方位合わせの作業効率を向上できる単結晶材料切断時の結晶方位合わせ方法及びその装置を提供する。【構成】先ず、ワイヤーソー10とは別に設けた接着治具14を用いて、半導体インゴット38をワーク接着ブロック42に、半導体インゴット38の中心軸38Aとワーク接着ブロック42の水平・垂直な各基準面41、43とが平行になるようにスライスベース40を介して位置決め接着する。次に、ワーク接着ブロック42を、ワイヤーソー10の切断送りテーブル22に設けられ切断平面に対して直交する水平・垂直な各基準面74、76を有する取付治具12に位置決め装着する。これにより、前記半導体インゴット38の中心軸38Aは自動的に切断平面に対して直交する。次に、ワイヤーソー10外で予め測定しておいた半導体インゴット38の中心軸38Aを基準にした結晶方位のズレ量データに基づいて前記中心軸38Aが前記切断平面に対して所定の傾きになるようにチルチング機構で取付治具12を傾動させて半導体インゴット38を傾ける。
請求項（抜粋）：
棒状の単結晶材料を切断装置でウェーハ状に切断した時に、その切断面が所定の結晶方位になるように前記単結晶材料の結晶方位合わせを行う単結晶材料切断時の結晶方位合わせ方法に於いて、先ず、前記切断装置外で、前記単結晶材料をワーク接着ブロックに、前記単結晶材料に形成したオリエンテーションフラット等の基準を所定位置に合わせた状態で単結晶材料の中心軸と前記ワーク接着ブロックの水平・垂直な各基準面とが平行になるように位置決め接着し、次に、前記ワーク接着ブロックを、切断平面に対して直交する水平・垂直な各基準面を有する前記切断装置の取付治具に、前記ワーク接着ブロックと前記取付治具の各基準面同志を合わせるように位置決め装着して、前記単結晶材料の中心軸を前記切断平面に対して直交させ、次に、前記切断装置外で予め測定しておいた前記単結晶材料の中心軸を基準にした結晶方位のズレ量情報に基づいて前記中心軸が前記切断平面に対して所定の傾きになるように単結晶材料を傾けることを特徴とする単結晶材料切断時の結晶方位合わせ方法。
IPC (3件)：
B28D 7/04
, B28D 5/04
, H01L 21/304 311
