特許
J-GLOBAL ID：200903055771352396
ベアチップマウンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132206
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330790
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【構成】 ベアチップ1を基板3上に載置したときの搭載加圧力を検出するロードセル10と、このロードセル10からの出力を基準加圧力と比較してトリガ信号を出力する加圧力検出部12と、加圧力コンパレータからのトリガ信号を入力して吸着ノズル部2の上下動作を駆動する一軸テーブル6の動作を制御するテーブルコントローラとを設ける。【効果】 吸着ノズル部の上下動作を駆動する一軸テーブルの移動距離の設定を基板に対するベアチップの高さに合わせて変更する必要がなくなり、しかも常にベアチップに対する搭載加圧力を一定にすることができる。また、一軸テーブル6の可動部の自重によらず、微少荷重の搭載加圧力で搭載ができる。
請求項（抜粋）：
上面に印刷配線基板を搭載して水平面内に直角方向に移動させるXYテーブルと、前記XYテーブルの上方に位置してベアチップの上面を吸着する吸着ノズル部と、前記吸着ノズル部と接続して前記ベアチップの真空吸引を行う真空発生器と、前記吸着ノズル部を保持してその上下動作の案内を行う第一の一軸テーブルと、前記第一の一軸テーブルを保持するブラケットと、前記吸着ノズル部を下方に押下する圧縮ばねと、下面において前記圧縮ばねの上端と接触するロッドと、前記ブラケットに保持され前記ロッドの上面と接触するロードセルと、前記第一の一軸テーブルの可動部をつり上げて前記圧縮ばねの荷重方向と反対の方向に前記一軸テーブルの可動部の自重以上の荷重を発生させる引っ張りばねと、前記ロードセルに接続されて前記ロードセルの検出圧力を出力する加圧力検出部と、前記ブラケットを保持してモータによってその上下動作の駆動を行う第二の一軸テーブルと、前記加圧力検出部に接続されて前記第二の一軸テーブルの動作の制御を行うテーブルコントローラとを備えることを特徴とするベアチップマウンタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K 13/04 A
, H01L 21/52 F
