特許

J-GLOBAL ID：200903055774451514

半導体レーザ光周波数変調装置およびそれを用いた干渉計測装置

発明者： 芳野 俊彦
出願人/特許権者： 芳野 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349351
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196791
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成で半導体レーザ光の電流を変化させることによって光パワーを一定に保持して周波数を可変にできる装置およびそれを用いた干渉計測装置を提供すること。【構成】 半導体レーザ周波数変調装置は、半導体レーザとそれを駆動する変調電流発生器、光強度制御装置とその透過光の強度を検出し、その強さに応じた電気信号を光強度制御装置に帰還(フィードバック)するための電気回路からなる。光強度制御装置としては、半導体光増幅器、ファイバ光増幅器、磁気光学装置あるいは電気光学装置等を用いる。これにより、強度が一定で、周波数のみが半導体レーザの直接的電流変調によって達成できるので、周波数変調方式の干渉計測に利用すると正確で簡便な計測ができる。

請求項（抜粋）：

変調電流で駆動される半導体レーザの出力光を光強度制御装置に通過させ、通過光の一部を光検出器で検出し、検出した信号電圧を設定した一定電圧と比較・増幅する差動増幅器を通し、その出力信号を光強度制御素子の駆動信号に帰還することによって、光強度が不変の状態で電流による周波数の直接変調ができる半導体レーザ光を得ることを特徴とした装置。

IPC (2件)：

H01S 3/103 ,  G01B 9/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-007233
  
• 特開平1-298783
  
• 特開昭57-060883
  
• 特開平2-275303