特許

J-GLOBAL ID：200903055782145350

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 稲垣 譲 ,  岸川 隆之 ,  太田 栄 ,  ダビッド D ジャヤプラウィラ ,  ▲高▼砂 英一 ,  前田 富士男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118126
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310873
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】コストの低いCo-Cr-Ta系合金で高保磁力、低ノイズの磁気記録媒体を作製する。【解決手段】直流マグネトロンスパッタ法において、回転磁石方式のスパッタリング電極を用い、かつCr濃度は16原子%以上24原子%以下、Taの濃度は2原子%以上6原子%以下としたCr濃度の高いCo-Cr-Taターゲットを用ることにより、2.4kOeを超える高いHcを得る。

請求項（抜粋）：

表面にテクスチャー加工を施した円板状非磁性基板上にCr合金等の下地膜を形成し、その上に磁性膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において、磁性膜を回転磁石方式マグネトロンスパッタリング電極と、Crの濃度が16原子%以上24原子%以下、Taの濃度が2原子%以上、6原子%以下であるCo-Cr-Ta合金のターゲットを用いて形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/35 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/84 ,  G11B 5/85

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  C23C 14/35 Z ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 5/85 C