表示パネル基板の検査装置および検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295877
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123193
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】液晶表示パネルのガラス基板を水平面に対して75°の角度で傾斜させた状態で、収納、搬送、検査を実行することにより、ガラス基板にストレスがかからないようにし、また、カセット内でのガラス基板の姿勢を安定させ、さらに、検査装置の占有面積を小さくする。【解決手段】カセット台24に設置されたカセット40の内部にガラス基板42が水平面から75°の傾斜角度で収納されている。カセット40から1枚ずつ取り出されたガラス基板42は、基板搬送機構によりプリアライメントテーブル41に搬送されてプリアライメントされ、さらに測定ステージ43に搬送されてファインアライメントが実行され、検査される。プリアライメントテーブル41と測定ステージ43は、いずれも、水平面から75°の角度で傾斜しており、ガラス基板42は所定の傾斜状態で、収納、搬送、検査が実行される。

請求項（抜粋）：

ワークテーブルに載せた表示パネル基板の電極にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を検査する検査装置において、次の(イ)〜(ニ)を備える検査装置。(イ)複数の表示パネル基板を水平面に対して65〜80°の傾斜角度で収納するカセット。(ロ)表示パネル基板を載せるための載置面が水平面に対して前記傾斜角度で傾斜しているワークテーブル。(ハ)傾斜状態の表示パネル基板を前記カセットから1枚ずつ取り出してその傾斜状態のままで前記ワークテーブルに搬送できる基板搬送機構。(ニ)前記ワークテーブルの載置面に対向して配置されたプローブユニット。

IPC (3件)：

G01R 31/00 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

FI (3件)：

G01R 31/00 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

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