特許
J-GLOBAL ID：200903055790499039
物品の製造装置などへの搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346183
公開番号（公開出願番号）：特開平6-191611
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】半導体ウエハのような物品を或る半導体製造装置と物品保管倉庫との間で効率的に搬送できるようにしたものである。【構成】加工などが行われる物品が、その加工などを行う製造装置7において加工され、その物品の加工が完了する前に、前記製造装置7から信号(E)を発信し、次の加工などが行われれる物品を前記製造装置7に搬送されるようにし、前記加工などが完了した物品を加工完了保管倉庫3、或いは次工程に搬送するようなシステムに構成した。【効果】物品の製造装置の稼働率を向上させることができ、また供給、回収の同時搬送を行うので、自動搬送機の搬送効率をも向上することができる。
請求項（抜粋）：
加工などが行われる物品が、その加工などを行う製造装置において加工され、その物品の加工が完了する前に、前記製造装置から信号を発信し、次の加工などが行われれる物品を前記製造装置に搬送されるようにし、前記加工などが完了した物品を加工完了保管倉庫、或いは次工程に搬送することを特徴とする物品の製造装置などへの搬送方法。
IPC (4件)：
B65G 1/137
, B65G 37/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
