特許

J-GLOBAL ID：200903055791539794

オゾン水処理装置およびスピン処理装置

発明者： 松嶋 大輔 ,  黒川 禎明
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016454
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214815
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 この発明はオゾン水からオゾンガスを安価に、しかも確実に脱気することができるようにしたオゾン水処理装置を提供することにある。【解決手段】 オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンク12と、この処理タンク内のオゾン水に超音波振動を付与してオゾンガスを脱気する超音波発振器15と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排ガス管17と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する排液管16とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンクと、この処理タンク内のオゾン水に超音波振動を付与してオゾンガスを脱気する気体分離手段と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排気手段と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する排液手段とを具備したことを特徴とするオゾン水処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 341 ,  B01D 19/00 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/36

FI (5件)：

H01L 21/304 351 S ,  H01L 21/304 341 Z ,  B01D 19/00 C ,  C02F 1/20 A ,  C02F 1/36

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 脱オゾン処理装置及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112400   出願人：株式会社カイジョー
• 特開平4-053684
  
• 特開昭64-011342