微細構造評価装置及び微細構造評価法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148569
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209722
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】対象物の微細構造に基づく散乱光の散乱分布特性を検出することにより、該微細構造のエッジ位置、幅等の外形状を検出することができる微細構造評価装置及び微細構造評価法を得ること。【構成】光源手段からの光束を照明光学系を介し微細構造をもつ対象物に入射させ、該対象物の微細構造に基づく散乱光の散乱分布特性を検出系で検出し、該検出系で得られた散乱分布特性の極値の位置、数、変化、強度等の散乱信号を信号処理系で処理することにより、該微細構造を評価するようにしたこと。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束を照明光学系を介し微細構造をもつ対象物に入射させ、該対象物の微細構造に基づく散乱光の散乱分布特性を検出系で検出し、該検出系で得られた散乱分布特性の極値の位置、数、変化、強度等の散乱信号を信号処理系で処理することにより、該微細構造を評価するようにしたことを特徴とする微細構造評価装置。

IPC (6件)：

G01B 11/00 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/30 311 M , H01L 21/30 311 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-042453
特開昭62-076732
特開昭63-285449

審査官引用 (6件)

特開昭63-042453
特開昭63-042453
特開昭62-076732

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