特許

J-GLOBAL ID：200903055805371042

半導体試験装置用校正データの転送装置及びその方法

発明者： 根岸 利幸
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-107939
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294605
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 半導体試験装置に搭載したスキューアジャスタ等へ校正データを転送する場合に、校正データファイルを縮小し、転送実行時間を短縮した、半導体試験装置用校正データの転送装置及びその方法を提供する。【構成】 ピン毎の校正モードを記憶するPINDATAメモリ300を設ける。そして、当該PINDATAメモリ300の出力に応じて、記憶しておいた校正データを読み出すCALFILEメモリ200を設ける。そして、転送しようとする校正データが前回転送してある校正データと一致しているかを判別するCALFLAG回路400を設ける。このように、装置及び方法を構成する。また、上記に加えて、転送しようとする校正データが前回転送してある校正データと一致しているかをピン毎に判別するパーピン制御部700を設ける。このように、転送装置及び方法を構成してもよい。

請求項（抜粋）：

半導体試験装置の各ピンに校正データを転送する転送装置に於いて、ピン毎の校正モードを記憶するPINDATAメモリ(300)を設け、当該PINDATAメモリ(300)の出力に応じて、あらかじめ記憶しておいた校正データを読み出すCALFILEメモリ(200)を設け、転送しようとする校正データが前回転送してある校正データと一致しているかを判別するCALFLAG回路(400)を設け、上記構成を具備したことを特徴とする、半導体試験装置用校正データの転送装置。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  G01R 35/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-015676
  
• 特開昭63-125034