特許

J-GLOBAL ID：200903055805383113

製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し方法

発明者： 藤村 尚志 ,  田中 秀治 ,  小林 義武
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114186
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319889
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】ウェハのような製造対象物を枚葉搬送する枚葉搬送ラインと、複数の製造対象物をバッチ処理するバッチ処理装置の間で、製造対象物の滞りがなく製造対象物を確実に受け渡しすることができる製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し方法を提供すること。【解決手段】製造対象物Wを枚葉搬送する枚葉搬送ライン20と、複数の製造対象物Wをバッチ処理するバッチ処理装置との間で、製造対象物Wを受け渡しするための製造対象物の受け渡し装置13であり、枚葉搬送ライン20により枚葉搬送される処理すべき製造対象物Wを、複数の製造対象物Wが収納可能でバッチ処理装置に受け渡し可能な容器Cに収納して、容器Cをバッチ処理装置へ移載し、しかもバッチ処理装置で処理済みの複数の製造対象物Wを収納した容器Cを、バッチ処理装置から戻して、容器Cから製造対象物Wを取り出して製造対象物Wを枚葉搬送ライン20側に移載する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

製造対象物を枚葉搬送する枚葉搬送ラインと、複数の前記製造対象物をバッチ処理するバッチ処理装置との間で、前記製造対象物を受け渡しするための製造対象物の受け渡し装置であり、 前記枚葉搬送ラインにより枚葉搬送される処理すべき前記製造対象物を、複数の前記製造対象物が収納可能で前記バッチ処理装置に受け渡し可能な容器に収納して、前記容器を前記バッチ処理装置へ移載し、しかも前記バッチ処理装置で処理済みの複数の前記製造対象物を収納した前記容器を、前記バッチ処理装置から戻して、前記容器から前記製造対象物を取り出して前記製造対象物を前記枚葉搬送ライン側に移載する構成としたことを特徴とする製造対象物の受け渡し装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

FI (5件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/205 ,  H01L21/30 562 ,  H01L21/30 502J ,  H01L21/302 101G

Fターム (33件)：

5F004BC06 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA18 ,  5F031GA06 ,  5F031GA15 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031MA07 ,  5F031MA23 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031NA15 ,  5F031PA02 ,  5F045EB08 ,  5F045EN04 ,  5F046AA17 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06