特許

J-GLOBAL ID：200903055805916944

窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者： 川野辺 晃生 ,  松木 竜一 ,  高山 孝一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185593
公開番号（公開出願番号）：特開平9-030865
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 低圧成形及び常圧不活性雰囲気下焼成にて、高密度窒化珪素質焼結体を製造する。【解決手段】 バインダーとして、ケン化度60〜80モル%のポリビニルアルコールを使用する。【効果】 バインダー添加量を低減することなく、つぶれやすい顆粒を製造することができる。つぶれた顆粒3,3間に粗大気孔は形成されず、従って、バインダー量を低減せずに成形割れを防止した上で、焼結時の緻密化を阻害するような、成形体中の粗大気孔を取り除くことができる。低圧成形及び常圧不活性雰囲気焼成を行って、従来法よりも安価に、高密度窒化珪素質焼結体を製造することができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素原料粉にバインダーを添加混合して得られた成形原料を成形した後、常圧不活性雰囲気下にて焼成して窒化珪素質焼結体を製造する方法において、該バインダーとして、ケン化度60〜80モル%のポリビニルアルコールを使用することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/632 ,  C09J129/04 JCS

FI (3件)：

C04B 35/58 102 P ,  C09J129/04 JCS ,  C04B 35/00 108