特許

J-GLOBAL ID：200903055806300971

光源装置

発明者： 佐久間 純
出願人/特許権者： 株式会社ウシオ総合技術研究所
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347097
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171843
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 波長がほぼ248nmのコヒーレント光を得る光源装置において、より高出力なコヒーレント光を得ることができるようにすること。【解決手段】 Nd:YAGレーザ光源L1から放出される基本レーザ光を非線形光学結晶C1に入射して第2高調波を発生させ、第1の和周波発生用非線形光学結晶C3に導く。一方、Nd:YAGもしくはNd:YLFレーザ光源L2から放出されるレーザ光の第2高調波を励起光としてTi:SAレーザ光源L3を発振させる。第1の和周波発生用非線形光学結晶C3は、上記第2高調波とTi:SAレーザ光源L3が放出するレーザ光からその和周波光を発生する。第2の和周波発生用非線形光学結晶C4は、該和周波光と基本レーザ光からその和周波光である波長248.4nmの光を発生する。なお、上記Ti:SAレーザ光源に換え光パラメトリック発振器を使用してもよい。

請求項（抜粋）：

波長が1000nm〜1100nmの基本レーザ光を発生する固体レーザ光源と、この基本レーザ光の第2高調波を発生する手段と、波長可変レーザ光源と、上記第2高調波と、上記波長可変レーザ光源から放出されるコヒーレント光とから第1の和周波光を発生させる第1の和周波発生手段と、上記第1の和周波光と、上記基本レーザ光とから波長が231〜251nmの第2の和周波光を発生させる第2の和周波発生手段とから構成される光源装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/108 ,  G02F 1/39

FI (3件)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/108 ,  G02F 1/39

Fターム (17件)：

2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002CA04 ,  2K002GA10 ,  2K002HA20 ,  2K002HA21 ,  5F072AB02 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK11 ,  5F072KK12 ,  5F072QQ02 ,  5F072QQ03 ,  5F072RR05 ,  5F072YY06 ,  5F072YY09