インクジェットヘッドとその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏谷昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067268
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278279
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとその製造方法に関し、フィルタを流路板内に構成することによりヘッドの小型化,部品点数の削減を可能にしたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【構成】インクジェットヘッド21は、圧力室24とインク供給路25とを少なくとも備えた第1の基板22と、該第1の基板22に重ね合わされた第2の基板23とより成る。いずれか一方の基板には圧力室24に連絡するノズル28が形成されている。インク供給路25には、ノズル28より小さい断面積の流路より成るフィルタ27が設けられている。また、第1の基板をシリコンウエハで形成し、これを片面から異方性エッチングすることによって、インク供給路,フィルタ,圧力室,ノズルを同時に形成することができる。

請求項（抜粋）：

圧力室と供給されるインクを前記圧力室へ導くインク供給路とを少なくとも備えた第1の基板と、該第1の基板に重ね合わされた第2の基板とより成り、前記第1の基板または前記第2の基板のいずれか一方の基板に前記圧力室に連絡するノズルが形成されるとともに、他方の基板の表面に前記圧力室に対向する圧電素子が固定されたインクジェットヘッドにおいて、前記第1の基板の前記インク供給路に、前記ノズルより小さい断面積の流路より成るフィルタを設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-289352
特開昭62-080054
特開昭55-109669

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