特許
J-GLOBAL ID：200903055816410341
ガラスの切断方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063775
公開番号（公開出願番号）：特開平6-269968
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板を汚染したりダメージを与えたりすることなく、短時間で、垂直性よく、良好な鏡面を仕上げることのできるガラスの切断方法及びその装置を提供する。【構成】 CO2 レーザ光の周りにガスを吹き付けつつ、このレーザ光をベース5上のガラス基板2に照射して、このガラス基板2を2つの基板A及びBに切断する際に、ガラス基板2を基板A側及びB側でそれぞれベース5に真空吸着して固定しつつ上記ガラス基板2を切断するようにした。
請求項（抜粋）：
CO2 レーザ光の周りにガスを吹き付けつつ、このレーザ光をベース上のガラス基板に照射して、このガラス基板を2つの基板A及びBに切断する際に、上記ガラス基板を基板A側及びB側でそれぞれ上記ベースに真空吸着して固定しつつ上記ガラス基板を切断することを特徴とするガラスの切断方法。
IPC (5件)：
B23K 26/00 320
, B23K 26/08
, B23K 26/10
, B23K 26/14
, C03B 33/08
