特許
J-GLOBAL ID：200903055821676872
窒化珪素質焼結体及びその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073288
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287066
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素を主体とし、周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )および過剰酸素を含有するとともに、前記過剰酸素のSiO2 換算量の周期律表第3a族元素酸化物に対するモル比が2〜10の組成からなる成形体を窒素雰囲気中、1600〜1950°Cの温度内で、焼成温度が周期律表第3a族元素(RE)のRE2 Si2 O7 で表される結晶と窒化珪素との共晶温度よりも高く、焼成温度と共晶温度との差が200°C以下であり、且つ焼成時の雰囲気圧力窒素分圧が10気圧以下で焼成し、窒化珪素結晶の粒界にSi2 N2 Oおよび/またはRE2 Si2 O7 結晶が主結晶相として存在し、且つ相対密度が97%以上、焼結体中の最大ボイド径が5μm以下の焼結体を得る。【効果】室温から高温まで高い強度を有するとともに耐酸化性に優れた窒化珪素質焼結体を作製することができる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素を主体とし、周期律表第3a族元素(RE)および過剰酸素を含有し、前記過剰酸素のSiO2 換算量の周期律表第3a族元素の酸化物換算量に対するモル比が2〜10の組成からなるとともに、窒化珪素結晶の粒界にSi2 N2 Oおよび/またはRE2 Si2 O7 結晶が主結晶相として存在し、且つ相対密度が97%以上、焼結体中の最大ボイド径が5μm以下であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/58 102
, C04B 35/58
