特許

J-GLOBAL ID：200903055822219971

位置決め装置およびステ-ジ制御方法

発明者： バウサン ユアン ,  牧野内 進 ,  橋本 豪之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086050
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036531
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 第2のステージの制御回路用の軌道命令として第1のステージの位置を利用する位置決め装置で、両ステージの同期誤差を低減する。【解決手段】 レチクルファインステージ位置は、ウエハステージの位置と組み合わされて同期誤差が生成される。レチクルファインステージ制御回路はヤコビアン微分変換を用いてこの同期誤差を、レチクルファインステージの重心に対する位置の誤差に変換する。これによって、レチクルファインステージの回転によって生じる測定誤差に起因する不正確さを防止することができる。コントローラフィルタ回路は、重心にかかる、同期誤差を最小化する力を計算するために重心に対する位置の誤差を用いる。制御装置フィルタ回路には整定時間を最小化する飽和制限された積分動作が含まれる。

請求項（抜粋）：

位置決め装置において、第一ステージと、前記第一ステージの位置に対応する第一ステージ位置信号を出力する位置測定システムと、少なくとも1つのアクチュエータと結合したファインステージであって、前記少なくとも1つのアクチュエータによって前記第一ステージとほぼ同期して移動されるようなファインステージと、前記ファインステージの位置に対応するファインステージ位置信号を出力する第二の位置測定システムと、前記第一ステージ位置信号に比例するファインステージ軌道命令信号を受信するファインステージ制御回路であって、前記ファインステージの中心の位置に対応する位置誤差信号を生成し、前記ファインステージの前記中心についての前記位置の誤差信号に応答して前記少なくとも一つのアクチュエータを制御するファインステージ制御回路とを有することを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 K ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 516 B