積層型圧電アクチュエータ

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-234624
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074576
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】高い印加電圧で高速で作動する場合でも放電によるショートを防止し、電極接続の信頼性を向上できる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数枚の積層された圧電板11間にそれぞれ接続用の突出部16を有する金属板14を介装し、突出部16を交互に所定方向に位置せしめ、該突出部16を積層した圧電板11の外周面との間に空隙20を形成するように圧電板11の積層方向に折り曲げ、その先端側の部分を同一方向に位置する他の突出部16に接続するとともに、突出部16の空隙20側の面にセラミックスおよび/またはガラスからなるコーティング層18を形成し、さらに圧電板11の外周面を絶縁材23で被覆してなる。

請求項（抜粋）：

複数枚の積層された圧電板間にそれぞれ接続用の突出部を有する金属板を介装し、前記突出部を交互に所定方向に位置せしめ、該突出部を積層した前記圧電板の外周面との間に空隙を形成するように前記圧電板の積層方向に折り曲げ、その先端側の部分を同一方向に位置する他の突出部に接続するとともに、前記突出部の前記空隙側の面にセラミックスおよび/またはガラスからなるコーティング層を形成し、さらに前記圧電板の外周面を絶縁材で被覆してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/083 , F02M 51/06 , H02N 2/00

FI (3件)：

H01L 41/08 S , F02M 51/06 N , H02N 2/00 B

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