特許
J-GLOBAL ID：200903055829234933
基板搬送システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260579
公開番号（公開出願番号）：特開平11-091943
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送システムにおいて、大型の基板を搬送する場合であっても比較的小型に構成することができると共に、真空排気の容量を小さくすることができ、しかも、基板を撓ませることなく搬送することができるようにする。【解決手段】 搬送室2の周囲に、基板を立てた状態で保持するロードロック室4その他のチャンバを略放射方向に配置し、搬送室2内に、垂直な中心軸回りに回転自在で基板を立てた状態で保持する収納部71を有するホルダ7を設ける。各チャンバとホルダ7の収納部71との間で基板の受け渡しを行い、基板を保持したホルダ7が回転することで1つのチャンバから他のチャンバへ基板を移送する。これにより、搬送室と全体形状の小型化、及び真空排気を要する容積の小型化が図られると共に、基板を撓ませずに搬送することができる。
請求項（抜粋）：
基板に所定のプロセス処理を施すための複数の処理チャンバの間で基板を搬送する基板搬送システムにおいて、前記基板を垂直姿勢で立てた状態で外部から搬入出する搬入出チャンバ、及び同基板を同状態でプロセス処理のために受け入れる前記複数の処理チャンバが略放射方向に配置され、これら一のチャンバから他のチャンバに対して前記基板を移送するための略円筒状の搬送室と、前記搬送室の内部に、該搬送室の垂直な中心軸回りに回転自在に軸心が設けられ、前記基板を立てた状態で保持するスリット状の収納部を有するホルダと、前記各チャンバとホルダとの間で前記基板を搬送する搬送手段とを備え、少なくとも前記スリット状の収納部内を真空排気可能とし、前記一のチャンバと前記ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行い、さらに前記基板を受け取った前記ホルダを回転させてから該ホルダと他のチャンバとの間で前記基板の受け渡しを行うことにより該基板を移送する構成としたことを特徴とする基板搬送システム。
IPC (9件)：
B65G 49/00
, B23P 19/00 301
, B23P 19/00 302
, B23Q 7/14
, B65G 1/00 535
, C23C 14/50
, C23F 4/00
, H01L 21/68
, H05K 13/02
B65G 49/00 A
, B23P 19/00 301 L
, B23P 19/00 302 Q
, B23Q 7/14
, B65G 1/00 535
, C23C 14/50 K
, C23F 4/00 A
, H01L 21/68 A
, H05K 13/02
