特許
J-GLOBAL ID：200903055829738087
薄膜トランジスタおよび液晶表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-133690
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330592
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】薄膜トランジスタの作成時に、ソース,ドレイン配線がゲート配線層またはn-a-Si/a-Si膜段差部で断線するのを防ぐ。【構成】ソース,ドレイン配線と交差するゲート配線層及びn-a-Si/a-Si膜のパターンに凹凸を設ける。これにより、ソース,ドレイン配線となる金属膜の段差部での膜質を良くするとともに、エッチング液のしみ込みを防ぎ、断線不良を防ぐ。
請求項（抜粋）：
透明絶縁基板上に形成され、ゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、及びソース(ドレイン)電極を有する薄膜トランジスタにおいて、前記ソース(ドレイン)電極下に位置する前記ゲート電極及び前記半導体層の両方の端部に凹凸が形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。
IPC (2件)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
H01L 29/78 617 K
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 618 C
