特許

J-GLOBAL ID：200903055829905439

洗浄装置

発明者： 古江 俊樹 ,  橘高 敏晃 ,  野村 貢
出願人/特許権者： バブコック日立株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028268
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226311
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルームの小型化、省スペース化ができる洗浄装置を提供することにある。【構成】 被洗浄物100を収納して洗浄する洗浄槽10と、その洗浄槽10に対して被洗浄物100を出し入れする移送装置12とを備えた第1のブロツク1と、前記超臨界流体から汚染物質を分離する分離槽20と、その分離槽20から洗浄槽への超臨界流体の再循環系統とを備えた第2のブロツク2に分割され、前記第1のブロツク1がクリーンルーム内に設置され、前記第2のブロツク2がクリーンルーム外に設置されて、第1のブロツク1と第2のブロツク2との間を、超臨界流体が流通する配管で接続したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に付着した汚染物質を超臨界流体で溶解させて洗浄する洗浄装置において、その洗浄装置が少なくとも、被洗浄物を収納して洗浄する洗浄槽と、その洗浄槽に対して被洗浄物を出し入れする移送装置とを備えた第1のブロツクと、前記超臨界流体から汚染物質を分離する分離槽と、その分離槽から洗浄槽への超臨界流体の再循環系統とを備えた第2のブロツクとに分割され、前記第1のブロツクがクリーンルーム内に設置され、前記第2のブロツクがクリーンルーム外に設置されて、第1のブロツクと第2のブロツクとの間を、超臨界流体が流通する配管で接続したことを特徴とする洗浄装置。