特許
J-GLOBAL ID:200903055831892972
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
土井 育郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-316587
公開番号(公開出願番号):特開2003-123636
出願日: 2001年10月15日
公開日(公表日): 2003年04月25日
要約:
【要約】【課題】 サンドブラスト法により障壁を形成するに際して、端部付近に欠陥を生じることなく、所望のラインパターンの障壁を形成することができるようにすること。【解決手段】 マスキング層を介してのサンドブラスト加工により障壁材料層をパターニングするに際し、マスキング層3における端部A付近のパターンを、延長部分の有るマスキング層3と延長部分のないマスキング層3とが隣合わせとなり、しかも延長部分のないマスキング層3の延長線上に隣のマスキング層3の延長部分が位置するパターンとする。研削材を含む混合エアーの流れが延長部分でせき止められ、マスキング層3の端部A付近の障壁材料層が過度に研削されることがなく、加工途中においてマスキング層3が端部Aから剥離することもない。また、後工程でのマスキング層3の剥離時には延長部分も同時に剥離され、余計な時間が掛かるようなことがない。
請求項(抜粋):
ガラス基板上に障壁用のガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させることで障壁材料層を形成し、その上に耐サンドブラスト性を有するライン状のマスキング層を所定のピッチで形成した後、該マスキング層を介してのサンドブラスト加工により障壁材料層の不要部分を除去する工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記マスキング層における端部付近のパターンを、延長部分の有るマスキング層と延長部分のないマスキング層とが隣合わせとなり、しかも延長部分のないマスキング層の延長線上に隣のマスキング層の延長部分が位置するパターンとしたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (4件):
H01J 9/02
, B05D 1/32
, B05D 7/00
, H01J 11/02
FI (4件):
H01J 9/02 F
, B05D 1/32 A
, B05D 7/00 H
, H01J 11/02 B
Fターム (13件):
4D075AD01
, 4D075BB04Z
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA14
, 5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GF19
, 5C040JA17
, 5C040MA23
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