特許

J-GLOBAL ID：200903055839294470

耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法

発明者： 中村 惠滋 ,  植田 稔晃 ,  山田 尚志 ,  大鹿 高歳
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251526
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096080
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具を製造する。【解決手段】 WC基超硬合金基体の表面に、化学蒸着法および/または物理蒸着法を用いて、Al2 O3 を主成分とするAl2 O3 系化合物層を含む硬質被覆層を3〜20μmの平均層厚で形成することにより表面被覆超硬合金製切削工具を製造するに際して、前記Al2 O3 系化合物層の形成に、反応ガスとして、容量%で、AlCl3 :0.5〜10%、NOx :1〜30%、H2 :0.5〜20%、H2 S:0.01〜1%、不活性ガス:残り、からなる組成を有する不活性ガス系反応ガスを用いる。

請求項（抜粋）：

炭化タングステン基超硬合金基体の表面に、化学蒸着法および/または物理蒸着法を用いて、酸化アルミニウムを主成分とする酸化アルミニウム系化合物層を含む硬質被覆層を3〜20μmの平均層厚で形成することにより表面被覆超硬合金製切削工具を製造する方法にして、前記酸化アルミニウム系化合物層の形成に、反応ガスとして、容量%で、三塩化アルミニウム:0.5〜10%、窒素酸化物:1〜30%、水素:0.5〜20%、硫化水素:0.01〜1%、不活性ガス:残り、からなる組成を有する不活性ガス系反応ガスを用いることを特徴とする耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法。

IPC (3件)：

C23C 16/30 ,  B23B 27/14 ,  C23C 16/40

FI (3件)：

C23C 16/30 ,  B23B 27/14 A ,  C23C 16/40