特許
J-GLOBAL ID:200903055843370173
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-188053
公開番号(公開出願番号):特開平6-035192
出願日: 1992年07月15日
公開日(公表日): 1994年02月10日
要約:
【要約】【目的】 アルカリ現像性、耐無電解銅めっき性、めっき液低汚染性の優れた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 スチレン、もしくはその誘導体と無水マレイン酸とを共重合して得た高分子化合物に、下記一般式【化1】(式中R5及びR6は、それぞれ独立して水素原子、またはメチル基を示す)で示される不飽和化合物を付加させた不飽和高分子化合物、末端にエチレン基を少なくとも2個含有する光重合性不飽和化合物、活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法。
請求項(抜粋):
(A)(a)一般式(I)で示されるビニル単量体10〜90重量部と【化1】(式中R1は、水素原子又はメチル基を示し、R2及びR3、R4は、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基又はカルボキシル基を示す)(b)無水マレイン酸10〜90重量部とを、(a)及び(b)成分の総和が100重量部となる量で共重合して得られる高分子化合物に、(c)下記一般式(II)で示される化合物【化2】(式中R5及びR6は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を示す)を、水酸基当量/酸無水物当量比を0.1〜1.2の範囲として反応させて得られる不飽和高分子化合物、(B)末端にエチレン基を少なくとも2個含有する光重合性不飽和化合物及び(C)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/033
, G03F 7/027
, G03F 7/038
, H05K 3/18
引用特許:
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