特許

J-GLOBAL ID：200903055846190540

カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法

発明者： 井町 圭孝 ,  石渡 亨
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155456
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344299
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルターの表面の欠陥を精度良く検査できる欠陥検査装置を提供する。【解決手段】光源からカラーフィルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査装置において、照射した光の透過光および反射光を撮像する撮像手段、および撮像手段により得られた信号を画像処理することにより欠陥を検出する際に透過光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出された時にのみ欠陥を検出する検出手段を有することを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。

請求項（抜粋）：

光源からカラーフィルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査装置において、照射した光の透過光および反射光を撮像する撮像手段、および撮像手段により得られた信号を画像処理することにより欠陥を検出する際に透過光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出された時にのみ欠陥を検出する検出手段を有することを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101

FI (3件)：

G01N 21/88 Z ,  G01M 11/00 T ,  G02B 5/20 101

Fターム (17件)：

2G051AA32 ,  2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G086EE05 ,  2H048BA11 ,  2H048BB02