位置ずれ量測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253320
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】グレインの影響を抑えて高い精度で位置ずれ量を測定することができる位置ずれ量測定装置を提供することにある。【解決手段】光源からの照射光を十字スリットを有する開口絞りを介して対物レンズに導入して試料に落射照明を行う落射照明光学系を有していて、対物レンズの瞳位置において十字の一方のスリットがパターンに沿った方向の映像になり、十字の他方のスリットがパターンと直角な方向の映像になる十字スリットであって、対物レンズの瞳径に対する映像との比σにおいてσ=0.3以下に設定されるスリットの幅とσ=0.6以上に設定されるスリット長さを持つように選択され、複数のパターンと直角な方向に配列された受光素子により検出信号を得るものである。

請求項（抜粋）：

落射照明光学系の対物レンズを介して試料に落射照明を行い、前記対物レンズを介して所定距離離れて前記試料に形成された複数のパターンからの反射光を受光して得られる検出信号に基づいて位置ずれ量を測定する位置ずれ量測定装置において、光源からの照射光を十字スリットを有する開口絞りを介して前記対物レンズに導入して前記試料に落射照明を行う前記落射照明光学系を有し、前記十字スリットは、前記対物レンズの瞳位置において十字の一方のスリットが前記パターンに沿った方向の映像になり、前記十字の他方のスリットが前記パターンと直角な方向の映像になるものであって、前記対物レンズの瞳径に対する前記映像との比σにおいてσ=0.3以下に設定されるスリットの幅とσ=0.6以上に設定されるスリット長さを持つように選択され、前記複数のパターンと直角な方向に配列された受光素子により前記検出信号を得る位置ずれ量測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 H , G03F 9/00 H , H01L 21/30 506 B , H01L 21/30 522 A

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