特許
J-GLOBAL ID：200903055854334403
ターゲット装置及びX線レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159798
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031355
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 供給される電気エネルギをX線に変換させる効率を向上させる。【構成】 X線レーザ装置は、真空容器31内に、ターゲットベース38、アノード34及びカソード35からなるターゲット装置Tを配して構成する。ターゲット装置Tのターゲット39に対して、レーザ光源43からレーザ光を照射しガス状プラズマを一様に分布させ、アノード34-カソード35間に放電電圧を印加すると放電プラズマが発生し、ZピンチされてX線が発生する。このX線は、カソード35のトンネル36を通り、X線反射ミラー37で反射されてアノード34側に戻るため、放出されるX線の利得が向上し、レーザ発振を生じる。発振したX線は出射窓41を介して真空容器31の外部に取り出される。
請求項（抜粋）：
レーザ光を受けてガス状プラズマを発生するターゲットを、レーザ光が照射される照射面に備えた絶縁性のターゲット基板と、前記ターゲットを間に配して相対するように前記ターゲット基板に固定され、この間に所定の電圧が印加された際、前記ガス状プラズマの介在のもとで放電を行い、放電プラズマを発生させる一対の電極体とを備え、前記ターゲット基板における前記照射面の裏面側には、この一対の電極体の配設方向に沿って延び、所定の電位が与えれた制御導体を配設しており、前記一対の電極体のうち、一方の第1電極体は、この一対の電極体間に発生するX線を外部に導くための第1貫通孔を有することを特徴とするターゲット装置。
IPC (2件)：
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