特許
J-GLOBAL ID：200903055857387885
化学気相成長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-086476
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 反応ガスにTEOSに代表されるアルコラート系の有機系液体材料を気化させたガスとO3ガスを用いる常圧の化学気相成長装置において、装置の稼動率を高く保つ。【構成】 前記化学気相成長装置の排気部表面部材にフッ素樹脂コーティングした部材を用いた装置、排気部表面部材を加熱するヒーターを設けた装置または前記ヒーターを設け、排気部表面部材に石英ガラスを用いた装置。【効果】 排気部表面に付着する反応副生成物の除去を容易にし、または反応副生成物の量が減少し、または付着した膜状の反応副生成物をはがれにくくすることにより、装置の稼動率を高く保つことができる。
請求項（抜粋）：
反応ガスとしてアルコラート系の有機系液体材料を気化させたガスとO3ガスを用いる常圧の化学気相成長装置であって、排気部表面を140°C以下の温度に保ち、この排気部表面部材としてフッ素樹脂コーティングした部材を用いたことを特徴とする化学気相成長装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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