特許
J-GLOBAL ID：200903055859564946
圧電アクチュエータ、赤外線センサおよび圧電光偏向器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-255049
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168246
出願日： 1998年09月09日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 低駆動電圧化と大変位量化と高安定性化、小型化を同時に満足する高性能圧電アクチュエータ、圧電チョッパあるいは圧電光偏向器を提供する。【解決手段】 同一平面上にある弾性シム材10に一部に圧電体11を貼り付けた駆動部10a、駆動部10aに励振された振動の振幅を拡大する変位拡大部10bを設けた。また、駆動部の共振周波数と変位拡大部の共振周波数の中間の周波数域の駆動周波数で駆動した。
請求項（抜粋）：
厚さ方向に印加される電圧に対応して上記厚さ方向と直交する一方向に大きく伸縮する圧電振動板と駆動部弾性薄板とが接合されてなり、所定の周波数を有する駆動電圧を上記圧電振動板の厚さ方向に印加することにより上記駆動電圧の周波数に対応した振動数でたわみ振動する駆動部と、上記駆動部と同一平面上にあり、上記駆動部のたわみ振動と同調して振動することが可能でかつ上記駆動部の振動によって励振されるように上記駆動部に連結されて、上記駆動部の振動を拡大する変位拡大部とを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, G01J 5/02
, G02B 26/08
, G02B 26/10 101
, H01L 37/02
H01L 41/08 J
, G01J 5/02 Q
, G02B 26/08 E
, G02B 26/10 101
, H01L 37/02
