平坦度測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064613
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174548
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】搬送速度や表面温度の変化にかかわらず精度良く安定して平坦度を測定する。【構成】前後複数列幅方向複数個に距離検出センサ14を配置する。前後の距離検出センサ14の出力はA/D変換器18により前後の距離検出センサ14のピッチPL相当間隔で同時サンプリングされ、処理装置26がその差を求め、平坦度プロフィールから平坦度指標を求める。また、幅方向の距離検出センサ14の出力をプロットすることにより幅方向の平坦度指標を求める。

請求項（抜粋）：

搬送ライン上の被測定体までの垂直距離を検出する距離検出手段と、検出結果に基づき被測定体表面の平坦度を求める処理手段と、を備える平坦度測定装置において、距離検出手段を搬送方向に沿って対配置して測線を形成し、搬送速度を検出し測線上の距離検出手段配列ピッチ相当の被測定体搬送時間を計数して入力周期を設定する手段を備え、処理手段が、前記入力周期毎に同一測線上の距離検出手段から検出結果を入力し、これらの差分を逐次累積加算することにより、測線に沿った被測定体表面の平坦度プロフィールを求めることを特徴とする平坦度測定装置。

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