加工方法および加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-026725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218468
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】従来の加工方法において、加工具先端部の位置のずれを補正する場合には、加工具の先端部を2方向から観察する機構を設け、得られた画像を処理することによって先端位置を検出し、基準位置からのずれに応じた補正値を与えていた。しかし、この場合には装置が複雑となり、加工具の先端位置の検出精度も、得られる画像の分解能や画像処理能力によって制限されるという技術的課題があった。【解決手段】はじめに、鉛直方向の中心線に対して対称性を持ち、側面が傾斜している凹型構造を有する位置補正用試料104を利用して、加工具102の先端部が前記凹型構造の側面に接触する位置を複数検出する。そして、前記接触位置を基にして、加工具102の先端部が前記凹型構造の中心線上に位置する時の移動位置を計算して基準位置とし、この基準位置を基準として移動位置を制御することによって加工具先端部の位置のずれを補正する。

請求項（抜粋）：

加工具と被加工物を対向させて配置し、前記加工具の先端と前記被加工物との間に物理的あるいは化学的な加工現象を発生させることにより、前記被加工物の被加工面に加工を施す加工方法において、鉛直方向の中心線に対して対称性を持ち、側面が傾斜している凹型構造を有する位置補正用試料に対して、前記加工具と前記位置補正用試料とを相対的に移動させて前記加工具の先端部を前記凹型構造の内部における任意の位置に配置し、前記加工具と前記位置補正用試料の少なくともいずれか一方を水平方向に移動させて、前記加工具の先端部が前記凹型構造の側面に接触する位置を複数検出し、前記接触位置を基にして、前記加工具の先端部が前記凹型構造の中心線上に位置する時の移動位置を計算して基準位置とし、前記基準位置を基準として移動位置を制御することによって加工具先端部の位置のずれを補正しながら加工を実行することを特徴とする加工方法。

IPC (3件)：

B23Q 15/00 309 , B23H 7/18 , B23H 7/26

FI (3件)：

B23Q 15/00 309 A , B23H 7/18 , B23H 7/26 C

Fターム (20件)：

3C059AA01 , 3C059AA02 , 3C059AB07 , 3C059CB06 , 3C059CC01 , 3C059CC02 , 3C059CC04 , 3C059CG04 , 3C059CL02 , 3C059DA01 , 3C059DB02 , 3C059DB05 , 3C059DC01 , 3C059DC02 , 3C059DC03 , 3C059DC06 , 3C059EA02 , 3C059EA03 , 3C059JA04 , 3C059JA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平2-167626

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