特許
J-GLOBAL ID：200903055871961543
透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-304192
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145567
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】欠陥を生ぜず、接着剤の影響をうけないで均一な厚さの薄膜化ができ、また微小特定域を確実に薄片化して観察部とできる、透過型電子顕微鏡観察用試料作製方法を提供する。【解決手段】炭化水素を主成分とする有機分子ガスが存在する真空室内で、試料1の任意のあるいは特定部位13の表面に電子ビームを照射することにより炭素皮膜2を形成し、この炭素皮膜2上から略垂直にArイオンビームBを照射することにより、炭素皮膜被覆部以外の試料表面をエッチング除去し、炭素皮膜被覆部に、試料表面に垂直な柱状の透過型電子顕微鏡用の観察部14を形成する。11は多層膜である。
請求項（抜粋）：
炭化水素を主成分とする有機分子ガスが存在する真空室内で、試料表面に電子ビームを照射することにより炭素皮膜を形成し、この炭素皮膜上からArイオンビームを照射することにより、炭素皮膜被覆部以外の試料表面をエッチング除去し、炭素皮膜被覆部に、試料表面に垂直な柱状の観察部を形成することを特徴とする透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法。
FI (2件)：
G01N 1/28 F
, G01N 1/28 N
