半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志村正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-349351
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174364
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブルの吸引領域を簡単な構成としようとするものである。【解決手段】半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブルの吸引領域を構成する各通気板を、接着剤を主成分とする環状仕切膜を介在させて区画した。

請求項（抜粋）：

底面には、本体部を構成する通気円板とこれを囲繞する各通気環状板の下側に位置する、吸着機構、給水機構、給気機構に通ずるバルブを介して配されたサクションパイプに連通する各吸気、給水通路を設けた環状壁を形成して成るフレームの内側に嵌合したことを特徴とする半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル。

IPC (3件)：

B23Q 3/08 , H01L 21/304 321 , H01L 21/68

FI (3件)：

B23Q 3/08 A , H01L 21/304 321 H , H01L 21/68 P

引用特許：

審査官引用 (6件)

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