特許
J-GLOBAL ID:200903055887172972

ペレット突き上げ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩川 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-292508
公開番号(公開出願番号):特開平7-099228
出願日: 1986年03月14日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 寸法、形状の異なるペレットをシートから確実に剥離すること。【構成】 ペレット突き上げ装置25において、ニードル49の突き上げストローク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動作状態を設定する寸法・形状入力部52と、この寸法・形状入力部52に設定された動作状態に基づいて突き上げ駆動部33、34を駆動制御する突き上げ制御部51と、を有するもの。
請求項(抜粋):
突き上げ駆動部によって進退動されるニードルにより、シート上に貼着されるペレットをシートの裏面から突き上げ、剥離するペレット突き上げ装置において、前記ニードルの突き上げストローク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動作状態を設定する設定部と、この設定部に設定された動作状態に基づいて前記突き上げ駆動部を駆動制御する突き上げ制御部と、を有することを特徴とするペレット突き上げ装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  H01L 21/301
FI (2件):
H01L 21/78 Y ,  H01L 21/78 P
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭60-102754
  • 特開昭57-097642
  • 特開昭58-199699

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