特許
J-GLOBAL ID：200903055891583200
マスク保護部材装着治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221968
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039703
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 マスク保護部材をマスク部材に装着するときの薄膜の膨らみを防止する。【解決手段】 マスク保護部材装着治具1にマスク保護部材2をセットした状態で、その上方からパターン面31を下に向けてマスク部材3を接近させると、空気圧4が薄膜22に加わる。しかし、凹部11は、薄膜22との間でほぼ密閉されているので、凹部11の底面11b側からは、空気圧4に対抗する空気圧5が薄膜22に加わる。このため、マスク保護部材2がマスク部材3に装着されるときに、薄膜22は下方にほとんど膨らむことがない。
請求項（抜粋）：
薄膜を用いたマスク保護部材をフォトレジスト用のフォトマスクに装着するためのマスク保護部材装着治具において、前記薄膜がほぼ水平な状態で前記マスク保護部材が嵌合可能であり、前記マスク保護部材が嵌合されているときには、前記薄膜と底面との間がほぼ密閉状態となる形状の凹部が形成されていることを特徴とするマスク保護部材装着治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
