特許
J-GLOBAL ID：200903055892295152
形状可変鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046774
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261100
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】形状可変鏡の応答性を高め、ミラー面の冷却を可能にする形状可変鏡の構造を提供する。【構成】円筒形レーザビーム9が入射するミラー1の下部にピン2を介してアクチュエータ3を複数個取付け、ミラー1と複数個のアクチュエータ3は鏡筒4に固定する。各アクチュエータ3にそれぞれ駆動電圧を与えて円筒形レーザビーム9の波面を制御できる。ミラー1の周辺部に冷却材5を循環させる空間を設け、ミラー1の中央部下面には冷却用ピン8に冷却材5を循環させる空間を設ける。
請求項（抜粋）：
レーザビームを入射して反射するミラーと前記ミラーの裏面に複数のアクチュエータを有し、前記複数のアクチュエータに任意の信号を与えることにより前記ミラーの凹凸を変えることのできる形状可変鏡において、前記ミラーの前記レーザビームが入射される部分の裏面以外のミラーに冷却材を循環させる空間を設け、前記空間に冷却材を循環させる手段を設けたことを特徴とする形状可変鏡。
IPC (4件)：
G02B 26/00
, B23K 26/06
, G02B 5/08
, H01S 3/041
