高周波信号検出プローブ

発明者：
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-359756
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185960
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高周波電力伝送線路に取り付け,負荷に印加される電圧電流波形,電圧値,電流値,電圧電流相互間の位相角,等を測定するための電気的信号を検出し,負荷の状態を診断もしくは長期にわたりモニターするための簡便なプローブを提供する。【解決手段】ケース1の内部に電圧検出器15および電流検出器16を内蔵させ,伝送線路5接続される伝送線路端子2と負荷に接続される伝送線路端子3を装着し,併せて電圧信号端子7及び電流信号端子9を設け,ふたを閉じて一体構造化させプローブとして構成した。

請求項（抜粋）：

伝送線路5に接続された伝送線路端子2および負荷に接続された伝送線路端子3を装着したケース1に電圧検出器15および電流検出器16を内蔵させ,伝送線路端子2または3とアース端子8間の高周波電圧およびその波形を検出すると同時に伝送線路端子2,3間に流れる高周波電流およびその波形を検出し,ケース1に装着された電圧信号端子7および電流信号端子9から,この伝送線路上の同一地点,同一時点における高周波電圧値およびその波形,高周波電流値およびその波形,電圧電流相互間の位相角,高周波電圧中の直流成分,電圧波形中の高調波成分,電流波形中の高調波成分等の電気的情報を全て一括して同時に検出しその信号を出力することができることを特徴とし,あわせて一体構造化による小型簡便性を追及した高周波信号検出プローブ

IPC (3件)：

G01R 15/12 , G01R 19/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 15/12 A , G01R 19/00 D , H01L 21/66 B

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