特許
J-GLOBAL ID：200903055904601793
電子線描画装置及び調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012388
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221002
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 電子線描画装置の調整を簡単にする。【構成】 散乱体によるコントラストを用いた一括図形照射法の可能な電子線描画装置において散乱電子を遮断する絞りをアパーチャーの縮小像の下方に設ける。
請求項（抜粋）：
散乱体からなるアパーチャーの散乱コントラストを用いた電子線描画装置において散乱電子を遮断する絞りをアパーチャーの縮小像の下方に設けることを特徴とする電子線描画装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04
, H01J 37/09
, H01J 37/305
