投影露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167424
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357645
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】非球面を効果的に用いることにより少ないレンズ枚数ながら、露光領域全般にわたり高い光学性能を有し、高NA化と広い露光領域を達成した投影光学系を提供すること。【解決手段】少なくとも1枚以上の非球面レンズを有し、少なくとも前記非球面レンズのうち1枚は両面が非球面であること、または全ての非球面レンズは両面が非球面であることを主とし、パワー分担を適切に設定し、適正な非球面量を与え、非球面形状を所定の条件を満足するように規定した光学系。

請求項（抜粋）：

レチクル面のパターンを投影光学系で感光基板に投影露光する投影露光装置において、該投影光学系は両面が非球面の非球面レンズを少なくとも1つ有していることを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 13/18 , G02B 13/24 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D , G02B 13/18 , G02B 13/24 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 527

Fターム (37件)：

2H087KA21 , 2H087NA02 , 2H087PA13 , 2H087PA14 , 2H087PA15 , 2H087PA17 , 2H087PB13 , 2H087PB14 , 2H087PB15 , 2H087PB16 , 2H087PB17 , 2H087PB19 , 2H087PB20 , 2H087QA01 , 2H087QA12 , 2H087QA13 , 2H087QA14 , 2H087QA17 , 2H087QA21 , 2H087QA22 , 2H087QA25 , 2H087QA26 , 2H087QA32 , 2H087QA34 , 2H087QA41 , 2H087QA42 , 2H087QA45 , 2H087RA05 , 2H087RA12 , 2H087RA13 , 2H087UA03 , 2H087UA04 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CA04 , 5F046CB12 , 5F046CB25

引用特許：

審査官引用 (10件)

投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-152857 出願人：株式会社ニコン
投影レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-015870 出願人：キヤノン株式会社
投影露光装置、及び該装置を用いたパターン転写方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-197275 出願人：株式会社ニコン

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