特許
J-GLOBAL ID：200903055912602049
ダムバー加工装置及びダムバー加工方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-236724
公開番号（公開出願番号）：特開平10-080782
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】樹脂モールド一体封止型のダムバー切断時に付着するドロスを少なくでき、リードの曲げ加工後におけるリード先端部の平面精度およびリードピッチの精度の向上が図れ、かつドロスの脱落による不具合を生じさせないダムバー加工装置及びダムバー加工方法を提供する。【解決手段】レーザ発振器110から発振されるレーザ光100のスポット形状100Aを長円形に変換し、その長軸方向を常にダムバー2の幅方向に合わせ、かつレーザ光100の偏光状態をスポット100Aの長軸方向に平行な直線偏光となるようにする。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発振するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物の加工位置まで誘導する加工光学系と、前記被加工物上の前記レーザ光のスポット形状を長円形に変換するビーム形状変換手段と、前記レーザ光と共に前記被加工物にアシストガスを噴出する加工ノズルと、前記被加工物を移動させその加工位置を決定する搬送手段とを有し、樹脂モールドで半導体チップおよびリードフレームを封止した半導体装置のダムバーを前記レーザ光の照射により切断するダムバー加工装置において、前記レーザ光の偏光状態を前記被加工物上の前記スポットの長軸方向に平行な直線偏光に変換する偏光状態変換手段を、前記加工光学系に設けたことを特徴とするダムバー加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/00 320
, B23K 26/06
, H01L 23/50
B23K 26/00 320 A
, B23K 26/06 E
, H01L 23/50 B
