特許

J-GLOBAL ID：200903055916452220

装飾性に優れた複合硬質薄膜の製造法

発明者： 井手 幸夫 ,  稲田 和典 ,  中村 崇 ,  前原 博志
出願人/特許権者： 山口県
代理人 (1件)： 村田 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280408
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125232
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】有色の硬質薄膜の色を単色でなく、種々な色のものを容易に現出させる装飾性に優れた硬質薄膜の製造法及び同有色の硬質薄膜を耐酸化性、耐摩耗性、耐候性等に優れた透明薄膜でコーティング保護する方法を提供する。【解決手段】イオンプレーティングその他の蒸着法により、基板上に有色の硬質薄膜(例えばTiN)を形成した後、更にその上に透明な硬質薄膜(例えばAlN)を干渉膜として積層形成する。透明な硬質薄膜を、各種膜厚に調整して干渉膜として積層形成することにより、種々な色を現出することができる。有色の硬質薄膜は、金属薄膜又はセラミックス薄膜であってよく、また透明な硬質薄膜は、金属酸化物薄膜又はセラミックス薄膜であってよい。

請求項（抜粋）：

イオンプレーティングその他の蒸着法により、基板上に有色の硬質薄膜を形成した後、更にその上に透明な硬質薄膜を干渉膜として積層形成することを特徴とする装飾性の優れた複合硬質薄膜の製造法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-097865
  
• 特公平7-074428
  
• 特開昭62-270774
  
• 特開平3-087352