特許
J-GLOBAL ID:200903055919376109
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩見谷 周志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-013384
公開番号(公開出願番号):特開平10-195294
出願日: 1997年01月09日
公開日(公表日): 1998年07月28日
要約:
【要約】【課題】パターン形成後の低温熱処理によりイオン性不純物を含有せず、基材に対する接着性にも優れるポリイミド皮膜の得られる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(a) 例えば下記式:【化1】で示される、重量平均分子量45,000のポリイミド樹脂、(b) エポキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル、ならびに(c) 増感剤および/または光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
(a) 一般式(I) :【化1】[式中、Xは下記式(II-1)〜式(II-4):【化2】からなる群から選ばれる少なくとも1種の4価の有機基であり、Yは一般式(III) :【化3】〔ここで、aは0または1である〕で示される、フェノール性水酸基を有する二価の有機基30〜100 モル%と式(IV):【化4】〔ここで、Bは式(V-1) 〜(V-3) :【化5】からなる群から選ばれる少なくとも1種の二価の有機基である〕で示される、エーテル結合を有する二価の有機基70〜0モル%とからなり、Zは一般式(VI):【化6】〔ここで、bは5〜80の整数である〕で示され、シロキサン結合を有する二価の基であり、mおよびnはそれぞれが添えられた構造単位の数を示し、m/(m+n)は0.98〜0.70、n/(m+n)は0.02 〜0.30である]で示される、重量平均分子量5,000 〜 150,000のポリイミド樹脂、(b) エポキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル、ならびに(c) 増感剤および/または光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物。
IPC (2件):
FI (2件):
前のページに戻る