特許

J-GLOBAL ID：200903055922483374

集積光学ミラーおよびその製造方法

発明者： セルジュ・ヴァレット
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352309
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118211
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 通常のミラー製造方法を使用しながら、理論的な係数に等しい反射係数を有するミラーの製造を可能にすることにある。【構成】 光学ミラーは光ガイド、キヤビテイ、および反射材料層を有する集積光学ミラーにおいて、前記光ガイド(20)が基板(22)の表面(23)に製造されかつ前記表面に対して平行な方向への光ビーム(36)の伝播に使用され、前記キヤビテイ(30)が伝播方向において該方向に対して垂直に方向付けられかつ断面においてほぼ円弧形状を有する第1(32)および第2(34)を有して前記光ガイド(20)内に作られ、前記2つの壁を隔てている距離(L)がミラーの光軸(37)において前記第2壁の曲率半径(R)に等しく、そして前記反射材料(38)層が前記光ビームを前記第1壁に反射するために前記第2壁上に単に配置され、第2壁が凹状反射面を形成する。

請求項（抜粋）：

光ガイド、キヤビテイ、および反射材料層を有する集積光学ミラーにおいて、前記光ガイド(20)が基板(22)の表面(23)に製造されかつ前記表面に対して平行な方向への光ビーム(36)の伝播に使用され、前記キヤビテイ(30,30a,30b)が伝播方向において該方向に対して垂直に方向付けられかつ断面においてほぼ円弧形状を有する第1(32,32a,32b)および第2(34,34a,34b)を有して前記光ガイド(20)内に作られ、前記2つの壁を隔てている距離(L)がミラーの光軸(37)において前記第2壁の曲率半径(R)に等しく、そして前記反射材料(38)層が前記光ビームを前記第1壁に反射するために前記第2壁上に単に配置され、前記第2壁が凹状反射面を形成することを特徴とする集積光学ミラー。

IPC (2件)：

G02B 5/08 ,  H01L 27/15