特許
J-GLOBAL ID:200903055929324212
ウォーキングビーム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-182789
公開番号(公開出願番号):特開2003-176011
出願日: 2002年06月24日
公開日(公表日): 2003年06月24日
要約:
【要約】【課題】 基板を上下動させることなく、ほぼ連続的に移動させることが可能であるとともに、基板に影(曇り)を生じさせにくいようなウォーキングビームを提供する。【解決手段】 ペースト材を塗布した基板を熱処理炉内で搬送するために使用するウォーキングビームである。当該ウォーキングビームは、基板1の炉長方向の長さよりも短いストロークで各々独立して駆動する2つの可動ビーム3、5からなり、各可動ビーム上には基板1と接触して基板1を支持する支持ピン7、9が設けられており、前記2つの可動ビーム3、5の上昇端を同一レベルとして、その上昇端でビーム間の基板1の受け渡しをすることを特徴とする。
請求項(抜粋):
ペースト材を塗布した基板を熱処理炉内で搬送するために使用するウォーキングビームであって、当該ウォーキングビームは、基板の炉長方向の長さよりも短いストロークで各々独立して駆動する2つの可動ビームからなり、各可動ビーム上には基板と接触して基板を支持する支持ピンが設けられており、前記2つの可動ビームの上昇端を同一レベルとして、その上昇端でビーム間の基板の受け渡しをすることを特徴とするウォーキングビーム。
IPC (5件):
B65G 25/02
, F27B 9/30
, H01J 9/46
, H01J 17/16
, G09F 9/00 338
FI (5件):
B65G 25/02 F
, F27B 9/30
, H01J 9/46 A
, H01J 17/16
, G09F 9/00 338
Fターム (20件):
3F036BA01
, 3F036CA01
, 3F036CA04
, 4K050AA02
, 4K050AA05
, 4K050BA07
, 4K050BA17
, 4K050CG14
, 5C012AA09
, 5C040GC19
, 5C040GD09
, 5C040GF19
, 5C040GG09
, 5C040JA21
, 5C040JA28
, 5C040JA31
, 5C040JA34
, 5G435AA17
, 5G435BB06
, 5G435KK10
引用特許:
審査官引用 (2件)
-
移送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-229509
出願人:やつ工房株式会社
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塗膜乾燥方法およびその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-156155
出願人:株式会社東芝
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