位置決めステージの制御装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322040
公開番号（公開出願番号）：特開2002-126964
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：

【要約】【課題】負荷の変動等の外乱が発生した場合でも制御系が振動的になることなく安定に動作が可能な位置決めステージの制御装置を提供する。【解決手段】位置決めステージの制御装置は、位置フィードバックループ、速度フィードバックループを持つサーボ制御系に、サーボモータの電流を検出する電流検出部9と、電流検出部9で検出した電流、または後で述べる高域通過フィルタ12で処理した電流を所定の増幅率で増幅して電流減算器10に出力する増幅装置13と、電流検出部9で検出した電流の低周波成分をカットする高域通過フィルタ12とを備えた構成とし、さらに、電流検出部9で検出した電流信号を高域通過フィルタ12と増幅装置13を介して電流減算器10に出力するか、高域通過フィルタ12を介さずに増幅装置13のみを介して電流減算器10に出力するかを切り換えるための切り換え器14を備えた構成とした。

請求項（抜粋）：

位置決めステージを駆動する電動モータの電流値を検出、出力する電流検出手段と、前記電動モータに対する電流指令値を出力する電流指令値出力手段と、前記電流指令値と前記電流検出手段で検出された実測電流値の偏差を算出する電流減算手段と、を備え、該偏差を用いて前記電動モータの電流を制御するように構成された位置決めステージの制御装置において、前記電流検出手段の出力から低周波成分を除去する高域通過フィルタ手段を備え、該高域通過フィルタ手段の出力が前記実測電流値として前記電流減算手段に入力されるよう構成されていることを特徴とした位置決めステージの制御装置。

IPC (7件)：

B23Q 5/22 530 , B23Q 15/00 , G03F 7/20 504 , H01L 21/027 , H01L 21/66 , H01L 21/68 , H02P 5/00

FI (9件)：

B23Q 5/22 530 C , B23Q 15/00 C , G03F 7/20 504 , H01L 21/66 J , H01L 21/68 K , H02P 5/00 K , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 541 C , H01L 21/30 541 L

Fターム (43件)：

2H097CA16 , 2H097LA10 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB05 , 4M106DJ03 , 4M106DJ07 , 5F031CA02 , 5F031HA55 , 5F031JA45 , 5F031KA06 , 5F031KA10 , 5F031LA07 , 5F046CC01 , 5F046CC20 , 5F046DA08 , 5F046DB05 , 5F056CB24 , 5F056EA14 , 5H550AA18 , 5H550AA20 , 5H550BB05 , 5H550BB10 , 5H550DD04 , 5H550DD08 , 5H550EE08 , 5H550GG01 , 5H550GG03 , 5H550GG05 , 5H550GG10 , 5H550HB07 , 5H550JJ03 , 5H550JJ15 , 5H550JJ17 , 5H550JJ23 , 5H550JJ26 , 5H550KK06 , 5H550KK08 , 5H550LL03 , 5H550LL06 , 5H550LL12 , 5H550LL35

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