特許

J-GLOBAL ID：200903055946773055

流量センサー、温度センサー及び流量検出装置

発明者： 井上 眞一 ,  小池 淳 ,  川西 利明 ,  友成 健二
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 竹内 三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028410
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 応答速度をより高速化し、測定精度をより高精度とし、腐食、変形をも解消した流量センサー、温度センサー及び流量検出装置を提供する。【解決手段】 基板3の一端部に直接、発熱体及び感温体を形成した流量検知部と出力端子4とを有し、前記基板3の一部及び出力端子4の一部をモールディングによる被覆部材5により被覆してなる流量センサー1を設ける。基板23の一端部に直接、感温体を形成した温度検知部と出力端子24とを有し、前記基板23の一部及び出力端子24の一部をモールディングによる被覆部材25により被覆してなる温度センサー21を設ける。前記流量センサー1及び前記温度センサー21をケーシング32に穿設したセンサー挿入孔39,40に収容して流量検出装置31を構成する。

請求項（抜粋）：

薄膜リード線を形成した基板と、基板の一端部に直接、発熱体及び感温体を形成した流量検知部と、出力端子とを有し、前記流量検知部及び薄膜リード線の一部を被覆するように前記基板に保護膜を形成するとともに、前記基板の一部及び出力端子の一部をモールディングによる被覆部材により被覆したことを特徴とする流量センサー。

IPC (3件)：

G01F 1/68 ,  G01K 7/18 ,  G01P 5/12

FI (3件)：

G01F 1/68 ,  G01K 7/18 B ,  G01P 5/12 C

Fターム (3件)：

2F035EA04 ,  2F035EA05 ,  2F035EA08