特許
J-GLOBAL ID：200903055948232396
弾性表面波素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-319563
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181563
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 電極部とワイヤーの腐食・破損を防止する。【構成】 圧電性基板10面に電極12を形成し、電極とリードピン14とを接続し、センシング対象になる液体又は気体中に晒される弾性表面波素子において、電極のリード部位置で圧電性基板面にコンタクト用孔10Aを設け、さらに同じ位置でケース11に孔11Aを設け、これら孔を通したワイヤー15によって電極とリードピンとを接続し、電極面に保護膜18を形成した構造とする。これにより、電極面がセンシング対象になる液体や気体に晒される場合にも電極及びワイヤーが酸やアルカリで腐食・破損するのを防止する。ワイヤー15に代えて、導電性接着剤を孔10A、11Aに充填して接続を得る構造も含む。
請求項（抜粋）：
圧電性基板面に電極を形成し、電極とリードピンとを接続し、センシング対象になる液体又は気体中に晒される弾性表面波素子において、前記電極のリード部位置で前記圧電性基板面にコンタクト用孔を設け、該孔を通したワイヤー又は孔に充填した導電性接着剤によって該電極と前記リードピンとを接続し、前記電極面に保護膜を形成した構造を特徴とする弾性表面波素子。
IPC (4件)：
H03H 9/25
, G01N 5/02
, G01N 11/16
, H03H 9/145
