特許
J-GLOBAL ID：200903055950807266
インサーキットテスタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273439
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094906
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】3次元の精密位置決め及び検査動作を実現し、しかも、小型軽量化、高精度、高効率動作、低コストを実現する。【解決手段】スライド板2上に載置されたテスト回路基板3は、レバー4によってインサーキットテスタ1本体内部に移動され、移動したテスト回路基板3’は、まずエアシリンダーを用いた位置決め機構5,7による時間差位置決めにより、2次元位置決めされる。その後、クランプ機構6,8によってクランプされて3次元位置決めされる。3次元位置決めされたテスト回路基板3’は、XYステージによってクランプ上下機構15,19をXY平面上に移動させるとともに、クロス・スライダ・クランク機構によってテストピンをZ方向に上下させ、テスト回路基板3’上の所望位置にソフトランディングさせて測定を行う。
請求項（抜粋）：
テスト回路基板を精密位置決めする位置決め機構及びクランプ機構、テストピンをZ軸方向に移動して前記テスト回路基板に接触させるプローブ上下機構、及び該プローブ上下機構をXY平面上に移動させるXYステージを少なくとも結合する剛構造の支持フレームと、前記支持フレームを支持する柔構造の外部筐体とを具備したことを特徴とするインサーキットテスタ。
引用特許：
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